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  宏瀨的Touch Panel設備,可應用在全線製程的檢查。除了可有效攔檢缺陷,提升生產線的良率,更可以協助客戶在產品製程的調整,
  以更高規的標準來出貨。
 
 
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Cover  Lens

Touch Sensor

宏瀨對應設備

成型 AOI

Sensor AOI

BM AOI

Macro巨觀檢查機

OD/膜厚量測機

阻值/膜厚量測機

 

Micro量測機

 

Film AOI

 

Film ARI

 
 
 
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Line Scan CCD

 

Dalsa 8K

CCD  pixel 

 

8192

Resolution (um/pix)

 

5um~10um

Tact Time (G4.5)

 

30 sec

AA  Area

ITO Open/Short/胖/瘦

≧ 8um;

Jump

≧ 8um;Metal

Particle

≧ 8um

Scratch

≧ 8um;灰階差異30以上

Pattern Shift

≧ 10um

Fan out  Area

Metal Open/Short/胖/瘦

≧ 8um

Particle

≧ 8um

Scratch

寬度 ≧ 8um

Pattern Shift

≧ 10um

Review  System

Microscope

2.5x~50x

 
     
 
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Line Scan CCD

 

Dalsa 8K

CCD  pixel 

 

8192

Resolution (um/pix)

 

5 um~14 um

Tact Time (3”~12”)

 

10 sec~15 sec

AA 區

Particle

≧ 8um

Scratch

寬度 ≧ 8um;灰階差異30以上

 BM 區

Scratch

寬度 ≧ 8um;灰階差異30以上

Pin Hold

 ≧ 8um;灰階差異30以上

BM長寬度量測

≦ ±10um

鋸齒

≧ 50um

IR 孔

≧ 8um;灰階差異30以上

 
     
 
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Line Scan CCD

 

Dalsa 8K

CCD  pixel 

 

8192

Resolution (um/pix)

 

7um~10um

Tact Time (500mmx500mm)

 

30 sec~45 sec

AA  Area

ITO Open/Short/胖/瘦

≧ 10um

Particle

≧ 10um

Scratch

≧ 10um;灰階差異30以上

Pattern Shift

≧ 14um

Fan out  Area

AG Open/Short/胖/瘦

≧ 10um

Particle

≧ 10um

Scratch

≧ 10um;灰階差異30以上

Pattern Shift

≧ 14um

Review  System

Microscope

2x

 
     
 
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Area CCD

 

500 million

CCD  pixel 

 

2500 x 1920

Resolution (um/pix)

 

1.1 um

Review  System

Microscope

2x

 
     
 
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Reflection

Focus

Metal/Sodium

Diffusion Metal/PL/Sodium

Transmission

Diffusion

PL/Sodium

Portable Lamp

Portable Lamp

LED/Metal

Review  System

Microscope

2x~20x

 
     
 
 
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